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Park Systems擴展FX大型樣品AFM產(chǎn)品線，為下一代工業(yè)創(chuàng)新注入動力
韓國首爾2025年2月19日 /美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國半導體展覽會上推出了擴展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導體展覽會（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術(shù)的Park FX200 IR和FX300 IR，進一步拓展了大型AFM技術(shù)的邊界。
隨著300毫米晶圓成為半導體行業(yè)標準，Park FX300專為需要高精度分析但無需復雜全自動在線系統(tǒng)的用戶設計，同時也為計劃在過渡至在線制造前引入AFM技術(shù)的企業(yè)提供理想解決方案。
Park FX300兼顧工業(yè)與科研需求，通過多項專有功能實現(xiàn)廣泛AFM技術(shù)的分析與質(zhì)控升級：如半導體后端處理中銅墊的長程平整度測量的滑動載物臺；用于晶圓封裝中樣品精確對準的旋轉(zhuǎn)載物臺；以及增強樣品可視化效果的離軸光學系統(tǒng)。此外，內(nèi)置風機過濾單元（FFU）可確保潔凈室環(huán)境下的無污染操作。
同步推出的FX200 IR與FX300 IR將AFM技術(shù)拓展至納米化學分析領(lǐng)域。通過融合傅里葉變換紅外光譜（FTIR）與原子力顯微鏡，該系列采用光誘導力顯微鏡 （PiFM）技術(shù)，實現(xiàn)小于5納米化學成像的空間分辨率。這一突破使研究人員能在不損傷晶圓表面的前提下分析納米結(jié)構(gòu)化學成分，為半導體、高分子及生命科學領(lǐng)域的材料表征開辟新路徑。
FX200 IR 和 FX300 IR 專為從小尺寸到200毫米或300毫米晶圓的樣品設計，提供高分辨率紅外光譜成像，可深入解析材料組成與分子相互作用。其超精細化學鍵信息捕捉能力，為半導體缺陷分析、高分子研究及先進材料表征提供高精度支持。
秉承"高效率同時減少人工干預"理念，F(xiàn)X大樣品AFM系列配備探針自動識別更換系統(tǒng)、用于探針狀態(tài)監(jiān)測的二維碼系統(tǒng)及AI激光對準功能。StepScan?技術(shù)支持預設坐標點自動連續(xù)測量，大幅提升形貌、電學、力學與磁學特性分析的效率。尤其在紅外應用中，系統(tǒng)通過全自動激光對準流程，顯著降低高分辨率化學分析的操作門檻。
韓國帕克股份有限公司（Park Systems）執(zhí)行副總裁趙相俊博士表示："FX大樣品AFM系列凝聚了我們在精密測量與自動化領(lǐng)域數(shù)十年的技術(shù)積淀，為工業(yè)與科研用戶提供優(yōu)化的晶圓分析解決方案。Park FX300及納米紅外系統(tǒng)正在重塑工業(yè)與研究級AFM的應用界限，為客戶提供先進的AFM解決方案, 共同推動納米科學的發(fā)展。"
此次創(chuàng)新進一步鞏固了 韓國帕克股份有限公司（Park Systems）在原子力顯微鏡領(lǐng)域的全球領(lǐng)導地位，持續(xù)為半導體與納米科學研究提供前沿解決方案。
關(guān)于Park Systems公司：（ 韓國科斯達克(KOSDAQ)股票代碼：140860）
作為納米計量解決方案的引領(lǐng)者，Park Systems以其制造的高質(zhì)量原子力顯微鏡（AFM）而備注關(guān)注。與行業(yè)競爭對手不同，Park Systems在材料科學、物理學、化學、生命科學、半導體和數(shù)據(jù)存儲等多個科學領(lǐng)域中能與客戶保持良好的專業(yè)關(guān)系。公司的使命是為科學家和工程師推動納米尺度的創(chuàng)新，促進科學發(fā)現(xiàn)。Park Systems的客戶包括各大半導體公司和研究型大學。公司總部位于韓國水原，并在美洲、歐洲和亞洲設有地區(qū)辦事處，Park Systems已在韓國證券交易所（KOSDAQ）上市。了解更多信息，請訪問：www.parksystems.cn。
