慕尼黑上海激光、光電展：四大激光技術，武裝半導體工業(yè)

2011-03-14 16:27

上海2011年3月11日電 /美通社亞洲/ -- 2011年3月15-17日，慕尼黑上海激光、光電展將于上海新國際博覽中心召開。

激光技術自誕生以來，受到了廣泛的關注，并逐步拓展了其應用領域。激光技術給制造業(yè)帶來了根本性變化：在航天工業(yè)中，鋁合金用激光焊接的成功應用是飛機制造業(yè)的一次技術大革命。在汽車工業(yè)中，激光加工技術優(yōu)化了汽車結(jié)構(gòu)，提高了汽車性能，降低了耗油量。激光精加工和微加工不但促進了微電子工業(yè)的發(fā)展，也為半導體制造行業(yè)提供了有利條件。激光加工技術屬于非接觸性加工方式，所以不產(chǎn)生機械擠壓或機械應力，特別符合半導體行業(yè)的加工要求。由于激光加工技術的高效率、無污染、高精度、熱影響區(qū)小，因此在半導體工業(yè)中得到廣泛應用。

激光加工技術在劃片和割圓方面的應用

激光加工技術在劃片方面有著廣泛應用。目前行業(yè)內(nèi)最多的激光劃片技術都是由激光直接作用于晶圓切割道的表面，激光的能量使得被作用表面的物質(zhì)脫離，從而達到去除和切割的目的。近期日本推出的全新概念的激光劃片機摒棄了傳統(tǒng)的表面直接作用的做法，而采取作用于硅基底內(nèi)的硅晶體，破壞其單晶結(jié)構(gòu)的技術，在硅基底內(nèi)產(chǎn)生易分離的變形層，然后通過后續(xù)的崩片工藝使芯片間相互分離。從而達到了無應力、無崩邊、無熱損傷、無污染、無水化的切割效果。

隨著科技的不斷發(fā)展，激光加工技術還被一些廠家應用到晶片割圓工序，加上成熟的軟件控制，可以在一個晶片上加工出很多小直徑晶片。較傳統(tǒng)的割圓加工方法而言，這樣操作對晶片造成的損傷較小，出片量相對較多。

即將在2011年3月15-17日于上海新國際博覽中心召開的慕尼黑上海激光、光電展上，E3、E4館的激光加工設備展區(qū)將呈現(xiàn)具有一定規(guī)模的激光加工產(chǎn)業(yè)群，行業(yè)內(nèi)各大高端產(chǎn)品如通快TruMicro、TruPulse、羅芬 Micro-精密加工事業(yè)群、華工半導體晶圓激光劃片機、德龍激光皮秒激光精細微加工設備、蘇州天弘晶圓激光劃片機和紅外激光劃片機等都將引領行業(yè)內(nèi)前沿技術。

激光打標技術在晶片加工中的應用

激光打標是一種非接觸、無污染、無磨損的新標記工藝。在晶片加工過程中，為了有效增強晶片的可追溯性，也為生產(chǎn)管理提供一定的方便，可以在晶片的特定位置制作激光標識碼，這種技術已經(jīng)成為一種潛在的行業(yè)標準，被廣泛地應用于硅材料、鍺材料。

激光打標領軍企業(yè)通快 TruMark、羅芬 Marking-打標技術事業(yè)群、華工光纖激光打標機、沈陽新松機器人光纖激光打標機、德龍激光紫外激光精細微加工設備、蘇州天弘紫外激光打標機等將引領國內(nèi)激光微加工產(chǎn)品的前進希望。

激光測試技術

激光測試技術主要有激光三角測量術和顆粒測試。在激光三角檢測術中，用一精細聚焦的激光束來掃描圓片表面，光學系統(tǒng)將反射的激光聚焦到探測器。在檢測微凸點的形貌時，3D 激光三角檢測術在精度、速度和可檢測性等方面具有明顯的優(yōu)勢。在顆粒測試中，顆料控制是加工晶片過程和制造器件過程中重要環(huán)節(jié)，而顆粒的監(jiān)測也就顯得十分重要。顆粒測試設備的工作原理有兩種：一種為光散射法；另一種為消光法。

3月份慕尼黑上海激光、光電展特別開辟了“測量測試技術”專區(qū)，領軍企業(yè) PI、海洋光學、必達泰克、愛萬提斯等皆將在今春3月在慕尼黑上海激光、光電展爭相競技，一展各家之所長。

激光的獨特優(yōu)勢決定了其在半導體技術中的廣泛應用。過去10年來中國半導體產(chǎn)業(yè)跌宕起伏，激光技術的運用為半導體制造行業(yè)注入了新的活力，對其回暖和復蘇起著功不可沒的作用。隨著集成電路技術的快速發(fā)展．激光的應用范圍還會進一步拓展和延伸。

關于慕尼黑上海激光、光電展

作為中國領先的激光、光學、光電展，慕尼黑上海激光、光電展(LASER World of PHOTONICS CHINA)自2006年起每年在中國上海舉辦，展會匯聚行業(yè)領袖與技術精英，全方位展示業(yè)內(nèi)各種設計新穎、科技領先的創(chuàng)新產(chǎn)品、全新有效的解決方案和緊跟潮流的應用技術，短短五年已迅速成長為中國激光和光電領域的頂級展會。2011年盛會將有近350家來自激光生產(chǎn)工程、激光器及光導發(fā)光原件、光學和光學生產(chǎn)技術、光信息與通信技術、機器視覺、測試測量等激光、光學等領域的國內(nèi)外知名企業(yè)參展，展示面積達到23,000平方米。預計將吸引28,000名觀眾前來參觀。德國、日本等國家展團也將再度隆重獻演 LASER World of PHOTONICS CHINA。詳情見：www.laserchina.net

德國慕尼黑國際博覽集團簡介

慕尼黑國際博覽集團是世界領先的展覽公司之一，每年在全球范圍內(nèi)舉辦近40個博覽會，涉及行業(yè)包括資本貨物、消費品和高科技。每年有100多個國家的30,000多家企業(yè)來到慕尼黑參展，觀眾遍及全球200多個國家和地區(qū)，總?cè)藬?shù)超過200萬。此外，集團還在亞洲、俄羅斯、南北美洲舉辦各類專業(yè)博覽會。慕尼黑在全球89個國家擁有6家子公司和66個代表處，集團網(wǎng)絡覆蓋全球。